光刻英語怎麼說及英語單詞
① 補充英文單詞 _ig_
hige 狼須
liga 微光刻電鑄模造
tigh 腿圍
② 有人知道光刻機用英文怎麼說嗎
光刻機
[詞典] photoetching machine; lithography machine;
[例句]本文研究了最短時問控制系統在DSW光刻機自動對准系統中的應用問題。
Application of time-optimal auto-alignment system in DSW photolithographic process is investigated in this paper
③ 請幫忙翻譯成英語謝謝
Hello, can feel very proud to participate in the interview, first introced to indivial situation, my undergraate course of study in xx university, 2008, (after graation walks the so-and-so professional study for a master's degree, and in 2010, I was employed in South Korea (South Korea so-and-so municipality work for a year, in the company's research institute do researcher, mainly position is do motion control engineers, the company mainly do the semiconctor equipment, I have been responsible for equipment is stamped the compression process lithography curing equipment, mainly responsible for equipment motion control software interface design, in a south Korean years of working time, in the joint efforts of the members realize the automation of semi-automatic and equipment for the company, in the profits provide also enhance their ability of self-study and communication skills. I think the adapt to the new environment in the high strength and ability to work under pressure or very strong, I hope that I can pay you to create profits reflect our values.
④ 激光器中英文資料
中國激光技術發展回顧與展望
( 范滇元 中國工程院院士)
「激光」一詞是「LASER」的意譯。LASER原是Light amplification by stimulated emissi on of radiation取字頭組合而成的專門名詞,在我國曾被翻譯成「萊塞」、「光激射器」 、「光受激輻射放大器」等。1964年,錢學森院士提議取名為「激光」,既反映了「受激輻射」的科學內涵,又表明它是一種很強烈的新光源,貼切、傳神而又簡潔,得到我國科學界的一致認同並沿用至今。�
從1961年中國第一台激光器宣布研製成功至今,在全國激光科研、教學、生產和使用單位共 同努力下,我國形成了門類齊全、水平先進、應用廣泛的激光科技領域,並在產業化上取得可喜進步,為我國科學技術、國民經濟和國防建設作出了積極貢獻,在國際上了也爭得了一席之地。�
一、我國早期激光技術的發展
1957年,王大珩等在長春建立了我國第一所光學專業研究所——中國科學院(長春)光學精密 儀器機械研究所(簡稱「光機所」)。在老一輩專家帶領下,一批青年科技工作者迅速成長,鄧錫銘是其中的突出代表。早在1958年美國物理學家肖洛、湯斯關於激光原理的著名論文發 表不久,他便積極倡導開展這項新技術研究,在短時間內凝聚了富有創新精神的中青年研究 隊伍,提出了大量提高光源亮度、單位色性、相乾性的設想和實驗方案。1960年世界第一台激光器問世。1961年夏,在王之江主持下,我國第一台紅寶石激光器研製成功。此後短短幾年內,激光技術迅速發展,產生了一批先進成果。各種類型的固體、氣體、半導體和化學激 光器相繼研製成功。在基礎研究和關鍵技術方面、一系列新概念、新方法和新技術(如腔的Q突變及轉鏡調Q、行波放大、錸系離子的利用、自由電子振盪輻射等)紛紛提出並獲得實施,其中不少具有獨創性。�
同時,作為具有高亮度、高方向性、高質量等優異特性的新光源,激光很快應用於各技術領域,顯示出強大的生命力和競爭力。通信方面,1964年9月用激光演示傳送電視圖像,1964年11月實現3~30公里的通話。工業方面,1965年5月激光打孔機成功地用於拉絲模打孔生產,獲得顯著經濟效益。醫學方面,1965年6月激光視網膜焊接器進行了動物和臨床實驗 。國防方面,1965年12月研製成功激光漫反射測距機(精度為10米/10公里),1966年4月研製出遙控脈沖激光多普勒測速儀。
表1 我國各類激光器的「第一台」�
名 稱 研製成功時間 研 制 人
He-Ne激光器 1963年7月 鄧錫銘等
摻釹玻璃激光器 1963年6月 干福熹等
GaAs同質結半導體激光器 1963年12月 王守武等
脈沖Ar+激光器 1964年10月 萬重怡等
CO2分子激光器 1965年9月 王潤文等
CH3I化學激光器 1966年3月 鄧錫銘等
YAG激光器 1966年7月 屈乾華等
可以說,在起步階段我國的激光技術發展迅速,無論是數量還是質量,都和當時國際水平接近,一項創新性技術能夠如此迅速趕上世界先進行列,在我國近代科技發展史上並不多見。這些成績的取得,尤其是能夠把物理設想、技術方案順利地轉化成實際激光器件,主要得力於光機所多年來在技術光學、精密機械和電子技術方面積累的綜合能力和堅實基礎。一項新技術的開發,沒有足夠的技術支撐是很難形成氣候的。�
二、重點項目帶動激光技術的發展
激光科技事業從一開始就得到了領導和科學管理部門的高度重視。當時中國科學院副院長張勁夫提出建立專業激光研究所的設想,很快得到國家科委、國家計委的批准。主管科技的聶榮臻副總理還特別批示:研究所要建在上海,上海有較好的工業基礎,有利於發展這一新技術。1964年,我國第一所,也是當時世界上第一所激光技術的專業研究所——中國科學院上海光學精密機械研究所(簡稱「上海光機所」)成立。當年12月在上海召開全國激光會議,張勁夫、嚴濟慈出席並主持會議,140位代表提交了103篇學術報告。�
1964年啟動的「6403」高能釹玻璃激光系統、1965年開始研究的高功率激光系統和核聚變研究,以及1966年制定的研製15種軍用激光整機等重點項目,由於技術上的綜合性和高難度,有力地牽引和帶動了激光技術各方面在中國的發展。我國的激光科技事業,雖然也遭遇了「文革」十年浩劫,但藉助於重點項目的支撐,仍艱難地生存了下來並取得可貴的進展。�
1.「6403」高能釹玻璃激光系統
1964年啟動,最後從技術上判定熱效應是根本性技術障礙,於1976年下馬。這一項目對發展高能激光技術有歷史貢獻是不可忽視的,它使我國激光技術的水平上了一個台階。其成果主要表現在:(1)建成了具有工程規模的大口徑(120毫米)振盪—放大型激光系統,最大輸出能量達32萬焦耳;改善光束質量後達3萬焦耳。(2)實現了系統技術集成,成功地進行了打靶實驗,室內10米處擊穿80毫米鋁靶,室外2公里距離擊穿0.2毫米鋁耙,並系統地研究了強激光輻射的生物效應和材料破壞機理。(3)第一次揭示了強光對激光系統本身的光損傷現象和機制。(4)第一次深入和理解激光光束質量的重要性和物理內涵,採用了一系列提高光束質量 的創新性技術,如萬焦耳級非穩腔激光器、片狀激光器、振盪—掃瞄放大式激光系統、尖劈法光束質量診斷等。(5)激光元器件和支撐技術有了突破性提高,如低吸收高均勻性釹玻璃熔煉工藝、高能脈沖氙氣、高強度介質膜、大口徑(1.2米)光學精密加工等。(6)培養和造就 了一批技術骨幹隊伍。
2. 高功率激光系統和核聚變研究
1964年王淦昌獨立提出激光聚變倡議,1965年立項開始研究。經幾年努力,建成了輸出功率10(上標10)瓦的納秒級激光裝置,並於1973年5月首次在低溫固氘靶、常溫氘化鋰靶和氘化聚乙烯上打出中子。1974年研製成功我國第一台多程片狀放大器,把激光輸出功率提高了10倍,中子產額增加了一個量級。在國際上向心壓縮原理解密後,積極跟蹤並於1976年研製成六束激光系統,對充氣玻殼靶照射,獲得了近百倍的體壓縮。這一系列的重大突破,使我國的激光聚變研究進入世界先進行列,也為以後長期的持續發展奠定了基礎。
3. 軍用激光研究
1966年12月,國防科委主持召開了軍用激光規劃會,48個單位130餘人參加,會議制定了包括含15種激光整機、9種支撐配套技術的發展規劃。雖未正式批准生效,但仍起了有益的推動作用。此後的幾年內,這一領域涌現了一批重要成果。例如:(1)靶場激光距技術初試成功:採用重復頻率為20赫茲的YAG調Q激光器,測距精度優於2米,最遠測量距離達660公里,加在經緯儀上,可實現對飛行目標的單站定軌。這一成果為以後完成洲際導彈再入段軌跡測量創造了必要條件。(2)紅寶石激光人造衛星測距:成功地對美國實驗衛星Expl-27號、29號 和36號進行了測量、最遠可測距離為2300公里,精度2米左右。這是第一代人造衛星的測距成果,為以後更遠距離、更高精度的人造衛星測距打下了基礎。(3)紅寶石激光雷達和機載紅外激光雷達,首次實現了地—空和空—空對飛機的跟蹤測距。(4)激光航測儀:將激光測距機和航空照相機組合,由飛機機載對地航測,完成對邊遠地區等復要地形的測繪。重復率6次/分,測距精度1米。(5)地炮激光測距機:可獨立完成觀察、測距、測角(方向和高低角)及磁針定向等功能。測距范圍300-10000米,精度5米。
在激光應用方面,Nd:YAG激光通信(3-12路)、He-Ne激光通信、單路/三路半導體激光通信在通信試驗中已獲得成功;Nd:YAG激光手術刀、CO2激光手術刀、激光虹膜切除儀等醫療設備也已投入使用;激光全息攝影、激光全息在平面光彈中的應用,脈沖激光動態全息照相和拉曼分光光度計已成為計量科學的新手段;數控激光切割機、激光準直儀、激光分離同位素硫、用於農業研究的液體激光器、大屏幕導航顯示器等成果也在工農業中獲得了應用。
1978年3月召開的全國科學大會上,獲得獎勵的激光項目有近80項,其中民品約70項,軍品約10項,綜合地反映了我國激光技術發展在這一時期的成績。
三、改革開放後取得前所未有的進步
改革開放以來,激光技術獲得了空前發展的機遇。20多年來,面向應用,面向世界,面向未來,激光科技事業取得了前所未有的進步,涌現出一批國際先進水平的成果,為邁向21世紀 打下了堅實的基礎。
1980年5月,分別在上海、北京舉行了第一次國際激光會議,與會代表218人(國外66人),宣讀113篇報告(國外65篇),鄧小平同志親切接見了與會中外代表。1983年在廣州和1986年在廈門又舉行了第二次、第三次國際會議,改變了我國的激光技術多年來封閉運轉的局面,開始走向世界。一大批年輕科技人才出國進修,其中相當一部分優秀人才學成歸國。
為了形成高水平的研究開發中心,對科研隊伍和布局進行了積極調整,先後成立了一批國家重點實驗室、開放實驗室、國家工程研究中心和產學研組織。由於擁有國際先進的儀器設備和設施,聚集了高水平的科技人才,又有較為靈活的運行機制,目前正在為激光科技成果轉化、創造自主知識產權和促進激光技術產業化發揮重要作用。
在多項國家級戰略性科技計劃中,激光技術受到重視。「863」計劃七大領域中有激光技術和光電子技術(包括用於信息領域的激光技術),1995年又增列了「慣性約束聚變」主題。國防預研光電子技術作為跨部門項目正式立項,其中也包括激光技術。國家「六五」和「七五」攻關計劃,激光技術被列為重大項目。此外,國家自然科學基金1986-1998年間年平均資 助27.6個激光領域項目。這些由國家支持的計劃都經過了充分論證和嚴格挑選,對國民經濟和國防建設具有重要意義。許多激光科研單位也主動進行組織體制和運行機制的改革,面向市場、鼓勵創新、大力促進科技成果向商品轉化,取得了可喜成績。
激光器研究向縱深發展,不斷追求高光束質量、高穩定性、長壽命、短脈沖、波長可調諧等目標。這一時期,激光技術成果豐碩,許多具有重大應用價值和達到國際先進水平。其中的代表性成果有:
1. 測距和測衛
新一代實用測距系統投入使用,完成了預定的重要任務。其中,718和G-179激光電影經緯儀投入使用並圓滿完成任務;第一台全激光跟蹤測距雷達外場試驗成功;第一台實用化紅外激 光雷達(G-168)設計定型,交用戶使用;戰術軍用激光測距儀(炮兵、坦克、手持)批量生產。
建成第三代人造衛星激光測距系統反入使用並達到國際水平。第一代紅寶石SLR系統的測距精度為米級,第二代YAG調Q激光器的精度達分米級,第三代鎖模激光器加微機系統在大於8000公里距離上精度達厘米級。在上海、武漢、長春、北京等先後建站,形成了中國網,數據參加國際交流。
2. 慣性約束聚變(ICF)激光碟機動器——「神光」系列
在王淦昌、王大珩的指導下,中國科學院和中國工程物理研究院從80年代開始聯合攻關,承擔了「神光」系列激光系統的研製和ICF物理實驗,取得了國際矚目的成就。其中,「神光-Ⅰ」激光裝置於1986年建成,輸出功率2萬億瓦,達到國際同類裝置的先進水平。「神光-Ⅰ」連續運行8年,在ICF和X射線激光等前沿領域取得了一批國際一流水平的物理成果。90年代又研製了規模擴大4倍、性能更為先進的「神光-Ⅱ」裝置,並即將投入運行。1995年,IC F在「863計劃」中立項,開始研製跨世紀的巨型激光碟機動器——「神光-Ⅲ」裝置,總體設 計和關鍵技術研究已取得一系列高水平的成果。
3. 新型激光器
兩種高功率連續波化學激光器,3.8微米的氟氘激光器(DF)和1.315微米短波長氧碘激光器(COIL),均取得突破性進展,功率和光束質量僅次於美國,達到當前國際水平。
X射線激光方面,碰撞機制的類氖鍺軟X射線激光(波長為23.2納米和23.6納米)達到增益飽和並具有近衍射極限的光束質量,居國際領先水平;復合泵浦X射線激光研究獲得一系列國際 首次報道的新譜線,並向短波長推進到4.68納米。
自由電子激光器和多波長可調諧激光也取得了可喜進展。
4. 中國牌新晶體走向世界
我國發明的BBO、LBO晶體,以及KTP、鈦寶石等晶體以優異的質量在國際市場享有盛譽並佔有一定的份額。
四、方興未艾的激光行業
盡管早在60年代已在加工(激光打孔)、醫療器械和測距等方面出現了激光產業的雛形,然而當時只是零星的、分散的小量研製性生產,未能形成氣候。真正得到重視並實質性起步,還是在改革開放發後,特別是「發展高技術,實現產業化」的政策導向下,我國才有了真正意義上的激光產業。
1987年1月,中國光學行業協會成立,後改名為中國光學光電子行業協會,其下設有激光分會。據1998年該行業協會對我國激光產業狀況的調研統計,全國主要激光產品生產單位約100多家,從業人員6400人,人均銷售額12.5萬元,主要分布在湖北、北京和上海。我國的激光產業由1988年的1億元增加到1998年的8億元,平均年增長22.3%,10年總銷售額達41.2億元。1998年出口1120萬美元,占總值的11.6%。
按國際慣用分類方法,激光產品包括激光加工、醫療、印刷、光存儲,測距準直、檢測、文娛教育中的各種激光儀器和設備,激光器件和通信用激光組件,以及激光用材料元器件和部件等11類。在我國,銷售額最大的是激光測距和準直,發展最快的是激光加工(近兩年來YAG 激光加工設備以46%-60%的速率增長,達9000萬元,超過了CO2激光加工設備)。激光醫療市場開發較早,曾以高速度增長,但現正處於低谷,銷售額在5500萬元徘徊。高端產品市場幾乎全被國外產品佔領,但天津大學開發的TD-98型Q開關紅寶石激光治療機以質量取勝,通過了美國FDA認證並批量出口。1998年激光器分類表明固體激光佔37.4%,半導體激光佔18.5%,呈現出固體激光市場旺盛,半導體激光迅速增長的趨勢。二極體泵浦的固體激光器(脈沖、連續、單模穩頻、微片、倍頻)將成為新的增長點。
由於歷史原因,我們激光科研力量相對較強,而激光產業尚處幼稚產業階段,在社會轉型時期如何抓住機遇,大力促進我國激光產業的發展,在國內外市場佔有更多份額,是廣大激光工作者面臨的光榮而艱巨的任務。
五、結束語
經過38年的努力,我國激光技術有了較為雄厚的技術基礎,鍛煉培養了一支素質較高的隊伍 。這支隊伍遍布科研、高校、產業部門和企業、地方,科技人員達數千人,包括一批學成歸國的優秀青年科學家和20多名兩院院士。可以預計,我國激光科學技術在21世紀必將有更輝煌的發展。在ICF激光碟機動器、高功率化學激光器、半導體泵浦的固體激光器、超短超強激光器、激光測距測衛、人工晶體和激光產業等方面,我國激光科技工作者將銳意創新,攀登新的高峰。
⑤ 電子束光刻膠HSQ能用X射線輻照嗎
怎麼總有些人明明不懂 還上來答非所問 是炫耀自己的無知嗎?
正答:HSQ是電子束膠,但也可以紫外曝光;但HSQ精度在5納米左右,用紫外曝光是浪費了。
⑥ 前道工藝的英文怎麼說比如說光刻相對於封
前道工藝
[網路] FEOL;
[例句]本發明公開了一種半導體器件阱的製造方法,涉及半導體前道的製造工藝。
The invention discloses a process for preparing a well of a semiconctor device, which relates to the fabrication technology of a former semiconctor.
⑦ 光刻工藝的英文怎麼說
光刻工藝
Lithography process
光刻工藝
Lithography process